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本学科师资主要由国家级人才、国家级青年人才和上海市人才组成，大部分教师具有海外学习和工作经历。目前在研的项目有国家自然科学基金，国家重大专项重点项目等。
本学科所从事的“超越摩尔新技术”研究包含压电传感器件、射频MEMs器件设计与制造和可穿戴电子技术的研究；“微纳制造与高端装备”包含晶圆级/大面积先进封装、集成电路装备研究；“微电子基础材料研究”是对集成电路芯片和微电子器件设计和制备过程中涉及到的材料的设计、制备和性能的研究；“集成电路前沿应用技术”研究包含面向5G/8K尖端技术应用的集成电路设计和制造研究。
本学科是材料、器件、驱动和控制电路、集成芯片的综合研究，具有各种知识背景（如化学、材料、物理、电路、计算机等）的学生，均可得到充分发挥。
本学科在专业教育上，注重基础理论、专业知识、实践和创新能力的有机统一；在学生的培养上，以培养具备扎实的理论基础、具有科学精神与创新能力、能够独立从事集成电路相关领域的学术研究、技术开发及其相关管理和教学等工作的人才为目标。
学制：2.5 年
研究方向：
01. 超越摩尔新技术
02. 微纳制造与高端装备
03. 微电子基础材料研究
04. 集成电路前沿应用技术
指导教师：
古元冬、张建华、付伟欣、刘博、姚镭、王诗男、刘浩宇、贾连希、陈昌、刘德盟、关一民、蔡艳、胡立磊、胡春瑞、路秀真等正副教授20余名。
考试科目：
1. 101思想政治理论
2. 201英语一
3. 301数学一
4. 899半导体物理
复试科目：
微电子综合
备注：
本专业在微电子学院培养。
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